鎢鋼壓頭尖端的形狀是影響納米壓痕儀精度最重要的因素之一，尤其是在壓痕深度很淺的測試中影響更大。對于有著幾何相似性的鎢鋼壓頭,理想形狀的鎢鋼壓頭和非理想形狀的鎢鋼壓頭在壓入深度很淺時，結果有很大的不同。

在同樣的壓入深度下，非理想形狀鎢鋼壓頭的實際接觸面積遠大于按尺寸計算的理想鎢鋼壓頭的接觸面積，使得開始測量時有著較大摩擦力，使得材料抵抗變形能力增強。 

目前鎢鋼壓頭的種類較多，納米壓痕儀常用的是玻氏鎢鋼壓頭和楔形鎢鋼壓頭。理想玻氏鎢鋼壓頭為三棱錐形，但實際加工中很難做到鎢鋼壓頭錐面的三個面交于一點，往往在鎢鋼壓頭端部存在一定的曲率半徑。

另外,在實際使用過程中，由于鎢鋼壓頭被磨損，鎢鋼壓頭端部曲率也是變化的，這個變化會產生一系列的影響：1.壓痕深度在一定范圍內時,不同壓痕不具有幾何相似性，測試結果的重復性差，可比性也差；2.增加了鎢鋼壓頭在初始壓入時鎢鋼壓頭與被測材料之間的摩擦，使得產生同樣壓入深度時的載荷增加，產生壓痕尺寸效應現象；3.最小塑性壓入深度增加，即在產生相同壓痕深度的條件下，卸載后可能沒有殘余變形。

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